キヤノンが最新の露光装置を発売しました。 pc.watch.impress.co.jp 5nmのプロセスルールに対応とのことで、従来はEUV露光方式でないと7nm以下は製造できず、EUV露光装置はオランダのASML社しか製造していません。 EUV露光装置の登場前まではキヤノンやニコ…